top of page
Applied Ceramics
半導体消耗品の代理・開発
星錡は、米国 Applied Ceramics 社の認定代理店として、半導体製造装置に広く採用されている石英消耗品やアルミナ部材を提供しています。これらの製品は、高純度・耐熱性・耐薬品性・長期安定性に優れており、さらに「消耗品リフレッシュサービス」を組み合わせることで、装置寿命の延長とコスト削減を支援し、生産効率の向上とサステナビリティの両立を実現します。
石英消耗品
主な特徴： 高純度・優れた透光率、耐熱性（最大1200°Cまで対応）、化学腐食への耐性、高い長期安定性。
主な用途：半導体エッチング工程、拡散炉用チューブ、CVD（化学気相成長）装置チャンバー、高温反応用キャリア。
付加サービス： カスタムパーツ設計（プロセス用途別）、性能テストおよび検証、プロセスパラメータの最適化提案。
アルミナセラミックス部材
主な特徴：高硬度（モース硬度9 )、優れた耐摩耗性、過酷なプロセス環境下での高い適応性、優れた絶縁性能。
主な用途：半導体製造装置用構造部品（キャリア、搬送パイプ、固定用治具など）、エッチングおよび堆積（デポジション）工程用消耗品。
付加サービス：精密構造部材の製作、カスタム機械加工、表面処理技術。
アルミナ部材のリフレッシュサービス
主な特徴：消耗品の寿命延長、調達コストの大幅な削減、ESGおよびサステナビリティ要件への適応。
主な用途：装置の定期メンテナンスおよび更新、プロセスコストの最適化管理、サーキュラーエコノミー（循環型経済）の実践。
付加サービス：専門的な修理およびリフレッシュ、消耗品のリサイクル・再利用、ライフサイクル管理に関するコンサルティング。
イノベーション ｜ 温もり ｜ 人工知能
bottom of page